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一、半導(dǎo)體制造業(yè)面臨的問題
作為高端制造行業(yè)，半導(dǎo)體制造行業(yè)使用了大量高精密儀器生產(chǎn)設(shè)備。這些生產(chǎn)設(shè)備均需在在無塵環(huán)境7*24小時(shí)全天候運(yùn)行，具有復(fù)雜的機(jī)械特性。機(jī)臺(tái)通過配備的工控機(jī)來控制上百道的復(fù)雜生產(chǎn)工序，同時(shí)檢測(cè)設(shè)備的操作和運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，并進(jìn)行機(jī)臺(tái)數(shù)據(jù)的收集、分析與審計(jì)。這些生產(chǎn)設(shè)備通常由多個(gè)廠商提供，不同用途，種類繁多，具有不同的接口和操作系統(tǒng)，對(duì)于設(shè)備維護(hù)人員無形中也增加了維護(hù)難度。
在日常的生產(chǎn)過程中，需要大量的機(jī)臺(tái)管理或維護(hù)人員必須要在各廠房內(nèi)來回巡視，若看到機(jī)臺(tái)異常信號(hào)，便需要在現(xiàn)場(chǎng)判別錯(cuò)誤原因、再執(zhí)行修復(fù)。若需要進(jìn)到無塵廠房處理異常告警設(shè)備，還必須穿戴無塵隔離裝備。這樣不僅造成了人員的浪費(fèi)、故障處理時(shí)間的浪費(fèi)，生產(chǎn)效率也明顯降低；而且有些無塵隔離裝備是一次性或需要用完后清洗，這樣也造成了人力與物力上的資源浪費(fèi)。
二、RCM機(jī)臺(tái)遠(yuǎn)程控制管理系統(tǒng)的原理及用途
RCM（Remote Control Management）機(jī)臺(tái)遠(yuǎn)程控制管理系統(tǒng)（以下簡稱RCM系統(tǒng)），它通過網(wǎng)絡(luò)技術(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)遠(yuǎn)程設(shè)備的監(jiān)控、操作和管理。將制造業(yè)的機(jī)臺(tái)工控機(jī)鍵盤、屏幕、鼠標(biāo)信號(hào)接入RCM硬件后，利用先進(jìn)的網(wǎng)絡(luò)技術(shù)、圖像識(shí)別技術(shù)和自動(dòng)化技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)制造業(yè)生產(chǎn)設(shè)備的遠(yuǎn)程監(jiān)控、操作和管理，極大地提高了生產(chǎn)效率和設(shè)備利用率。同時(shí)，可利用OCR（光學(xué)字符識(shí)別）屏幕圖像識(shí)別技術(shù)、RPA（機(jī)器人流程自動(dòng)化）技術(shù)，實(shí)現(xiàn)設(shè)備的自動(dòng)操作和異常處理；實(shí)時(shí)監(jiān)控生產(chǎn)設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)和處理故障，確保生產(chǎn)的順利進(jìn)行，大大提升生產(chǎn)效率、設(shè)備綜合效率，降低產(chǎn)品不良率。
RCM遠(yuǎn)程設(shè)備控制技術(shù)具有廣泛的應(yīng)用場(chǎng)景，涵蓋了半導(dǎo)體工廠生產(chǎn)自動(dòng)化、柔性化制造單元自動(dòng)化控制、遠(yuǎn)程設(shè)備監(jiān)控與管理、航運(yùn)業(yè)遠(yuǎn)程集裝箱管理以及工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)與智能制造等領(lǐng)域。通過應(yīng)用RCM技術(shù)，企業(yè)可以實(shí)現(xiàn)設(shè)備的遠(yuǎn)程監(jiān)控、操作和管理，提高生產(chǎn)效率、降低生產(chǎn)成本、提升智能化水平。
三、鴻通RCM系統(tǒng)半導(dǎo)體制造業(yè)解決方案
采用鴻通RCM系統(tǒng)，既可以在廠房無塵室內(nèi)提供制程工程師、機(jī)臺(tái)作業(yè)員及設(shè)備工程師半導(dǎo)體設(shè)備的本地端訪問，也可以為無塵室外的經(jīng)理、工程師、技術(shù)員或監(jiān)管員提供可控制的遠(yuǎn)程訪問。只要網(wǎng)絡(luò)可達(dá)，無論是有線網(wǎng)絡(luò)還是WIFI，無論是在無塵室內(nèi)還是外，無論是PC還是PAD均可對(duì)數(shù)以千計(jì)的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)設(shè)備進(jìn)行訪問和控制。
鴻通 RCM系統(tǒng)對(duì)于機(jī)臺(tái)的種類，使用年限，操作系統(tǒng)均無限制，只要機(jī)臺(tái)具有顯示器、鍵盤、鼠標(biāo)接口，就可實(shí)現(xiàn)本地連接和遠(yuǎn)程控制。
將RCM設(shè)置為分配器模式，機(jī)臺(tái)開電本地控制臺(tái)即可進(jìn)入系統(tǒng)界面，不改變本地訪問模式。用戶訪問必須進(jìn)行身份認(rèn)證，通過權(quán)限設(shè)置，以確定哪些設(shè)備可進(jìn)行訪問，以及是否讓用戶完全控制、共享訪問或只讀訪問，甚至可以靈活配置遠(yuǎn)程或本地人員的控制優(yōu)先級(jí)別，例如在本地人員執(zhí)行維護(hù)時(shí)選擇禁止遠(yuǎn)程控制，或遠(yuǎn)程人員遠(yuǎn)程維護(hù)時(shí)禁止本地操作。
在集中管理模式下，無論本地端還是遠(yuǎn)程用戶均采用集中認(rèn)證方式，對(duì)用戶和設(shè) 備進(jìn)行集中管理，設(shè)備和用戶統(tǒng)一分配授權(quán)，支持用戶權(quán)限無限制分級(jí)、分組管理；不同的用戶只能看到并且操控自己具有權(quán)限的受控設(shè)備。實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)加密傳輸和雙向證書認(rèn)證并通過單一IP地址、單一端口號(hào)對(duì)機(jī)房設(shè)備進(jìn)行全面管理，提供更高安全控制。可以實(shí)現(xiàn)操控過程的實(shí)時(shí)屏幕錄像，便于事后審計(jì)。
經(jīng)統(tǒng)計(jì)高達(dá)30%~40%的機(jī)臺(tái)錯(cuò)誤，都可歸類為常態(tài)性錯(cuò)誤，僅需按一個(gè)鍵或重啟程序等簡單動(dòng)作就能恢復(fù)正常，因此半導(dǎo)體制造商也可以通過標(biāo)準(zhǔn)的VNC協(xié)議和工廠自動(dòng)化系統(tǒng)集成，在發(fā)生狀況時(shí)遠(yuǎn)程自動(dòng)執(zhí)行除錯(cuò)命令修復(fù)，不再需要人為介入，以節(jié)省人力資源和提高故障處理能力，從而提高生產(chǎn)效率。
四、方案實(shí)現(xiàn)
拓?fù)鋱D
通過EasyLINKPro RCM和ES5000 RCM集中管理軟件，整合機(jī)臺(tái)本地訪問，提供對(duì)機(jī)臺(tái)的遠(yuǎn)程管理能力。
方案特點(diǎn)：
1. 利用RCM設(shè)備進(jìn)行遠(yuǎn)程管理及維護(hù)。
2. 適應(yīng)面廣，不受設(shè)備種類限制，無需改變機(jī)臺(tái)原有操作模式。只要機(jī)臺(tái)具有顯示、鍵盤、鼠標(biāo)接口，即可利用鴻通RCM增加遠(yuǎn)程管理能力。
3. 不需要在機(jī)臺(tái)控制器內(nèi)安裝任何軟件或硬件。
4. 可自定本地訪問優(yōu)先或遠(yuǎn)程優(yōu)先，本地與遠(yuǎn)程互不干擾。
5. 具有完備的數(shù)據(jù)傳輸加密和安全性，整合用戶、設(shè)備權(quán)限管理，做到人員僅管理有權(quán)的設(shè)備。
6. 支持WIFI無線，省去布線繁瑣。
方案優(yōu)勢(shì)：
1. 降低成本：利用RCM對(duì)生產(chǎn)區(qū)域進(jìn)行集中管理，少數(shù)人員即可管理多數(shù)機(jī)臺(tái)，可有效降低人員成本。
2. 提升工作效率：經(jīng)調(diào)查大多數(shù)情況下機(jī)臺(tái)常態(tài)問題僅需少量操作即可恢復(fù)，利用遠(yuǎn)程可實(shí)時(shí)解決機(jī)臺(tái)問題，無需進(jìn)入生產(chǎn)區(qū)域，省去到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)、穿脫無塵服等時(shí)間。
3. 多屏實(shí)時(shí)監(jiān)控：監(jiān)控中心通過大屏幕實(shí)現(xiàn)多屏畫面分割，對(duì)各站點(diǎn)被控設(shè)備進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控
4.二次開發(fā)：經(jīng)調(diào)查大多數(shù)情況下機(jī)臺(tái)常態(tài)問題僅需少量操作即可恢復(fù)：用戶的自動(dòng)控制服務(wù)通過鴻通API，由RCM獲取機(jī)臺(tái)界面圖像，并用對(duì)圖像進(jìn)行分析，獲得機(jī)臺(tái)當(dāng)前工作狀態(tài)。當(dāng)發(fā)現(xiàn)機(jī)臺(tái)故障時(shí)，由自動(dòng)控制服務(wù)通過API，操作RCM向機(jī)臺(tái)發(fā)送鍵盤、鼠標(biāo)等控制信號(hào)，自動(dòng)解決機(jī)臺(tái)故障。
